-. PROCESS CHAMBER/LOAD LOCK CHAMBER로 GLASS를 분배해 주는 연결 CHAMBER.

-. G6 ~G8 대응 ( SUS Chamber, 하부 제관구조 )

-. Chamber & Lid 내부의 주기적인 유지보수 Rotation 시스템

-. Vacuum Align System ( Process Pressure : - 650 Torr )